文献
J-GLOBAL ID:201102283210041658
整理番号:11A1122237
光電気化学エッチングによる静電駆動単結晶4H-SiC橋構造の作製
Fabrication of Electrostatic-actuated Single-crystalline 4H-SiC Bridge Structures by Photoelectrochemical Etching
著者 (3件):
WATANABE Naoki
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KIMOTO Tsunenobu
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
SUDA Jun
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
7926
ページ:
79260B.1-79260B.6
発行年:
2011年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)