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文献
J-GLOBAL ID：201102283463821510
整理番号：11A0809170
多接合太陽電池向けフルスペクトルZnO透明導電膜の低気圧高周波プラズマ合成
Full spectrum ZnO transparent conductive film synthesized in low pressure rf plasma for multi-junction solar cell
佐藤直幸
(茨城大)
,
吉田善紀
(茨城大)
,
柳澤真也
(茨城大)
,
岸田智和
(茨城大)
,
池畑隆
(茨城大)
資料名：
電気学会プラズマ研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： PST-11 号： 1-3.5-6 ページ： 3-8 発行年： 2011年03月14日
JST資料番号： Z0951A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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