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J-GLOBAL ID：201102293451896820 整理番号：11A1295299

フォトレジスト膜中での中空円筒の連続波レーザによる作製

Hollow Tube Fabrication in Photoresist Film Using Continuous Wave Laser

著者 (2件)：

TOMIYASU Masateru

(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)

EGAMI Chikara

(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)

資料名：

Optical Review (Optical Review)

巻： 18 号： 4 ページ： 357-359 発行年： 2011年08月01日
JST資料番号： L2272A ISSN： 1340-6000 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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