文献
J-GLOBAL ID:201102293780744267
整理番号:11A1135255
チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術
Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Reflow for Chip Scale Atomic Magnetometer
著者 (5件):
辻本和也
(京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室)
,
平井義和
(京都大学学際融合教育研究推進センター先端医工学研究ユニット)
,
菅野公二
(京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室)
,
土屋智由
(京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室)
,
田畑修
(京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室)
資料名:
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻:
131
号:
7
ページ:
251-257 (J-STAGE)
発行年:
2011年
JST資料番号:
L3098A
ISSN:
1341-8939
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)