文献
J-GLOBAL ID:201202102481272020
整理番号:12A1365385
モデルベース二次元光近接効果補正ツールの開発(2)-パターンマッチング方式によるコンタクトホール層高速補正
著者 (9件):
小林幸子
(東芝 LSI基盤技術ラボラトリー)
,
山元和子
(東芝 LSI基盤技術ラボラトリー)
,
宇野太賀
(東芝 LSI基盤技術ラボラトリー)
,
田中聡
(東芝セミコンダクター社 マイクロエレクトロニクス技研)
,
小谷敏也
(東芝セミコンダクター社 マイクロエレクトロニクス技研)
,
井上壮一
(東芝セミコンダクター社 マイクロエレクトロニクス技研)
,
鈴木裕昭
(東芝セミコンダクター社)
,
渡邊進
(東芝セミコンダクター社)
,
日暮等
(東芝 LSI基盤技術ラボラトリー)
資料名:
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻:
47th
号:
2
ページ:
687
発行年:
2000年03月28日
JST資料番号:
Y0054A
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)