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文献
J-GLOBAL ID：201202187566763028
整理番号：12A1365862
C7F16,(C3F7)3N/(C4F9)3NおよびC8F18/C8F16Oを用いたa-C:F膜のプラズマCVD
赤澤正道
(北大)
,
LUNGU C. P.
(National Inst. Lasers, Plasma and Radiation Physics, ROM)
,
LUNGU A.
(National Inst. Lasers, Plasma and Radiation Physics, ROM)
,
田畑昌祥
(北大)
,
鉾井耕司
(北大)
,
菅原広剛
(北大)
,
酒井洋輔
(北大)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集
(Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 47th 号： 2 ページ： 848 発行年： 2000年03月28日
JST資料番号： Y0054A 資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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