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文献
J-GLOBAL ID：201202200110603637
整理番号：12A1098979
2012年プラズマロードマップ
The 2012 Plasma Roadmap
SAMUKAWA Seiji
(Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
,
HORI Masaru
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
RAUF Shahid
(Applied Materials, Inc., CA, USA)
,
TACHIBANA Kunihide
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
BRUGGEMAN Peter
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
KROESEN Gerrit
(Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
,
WHITEHEAD J Christopher
(Univ. Manchester, Manchester, GBR)
,
MURPHY Anthony B
(CSIRO Materials Sci. and Engineering, NSW, AUS)
,
GUTSOL Alexander F
(Chevron Energy Technol. Co., CA, USA)
,
STARIKOVSKAIA Svetlana
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
KORTSHAGEN Uwe
(Univ. Minnesota, MN, USA)
,
BOEUF Jean-Pierre
(Univ. Toulouse, Toulouse, FRA)
,
SOMMERER Timothy J
(General Electric Res., New York, USA)
,
KUSHNER Mark J
(Univ. Michigan, MI, USA)
,
CZARNETZKI Uwe
(Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
,
MASON Nigel
(Open Univ., Milton Keynes, GBR)
資料名：
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 45 号： 25 ページ： 253001,1-37 発行年： 2012年06月27日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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