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文献
J-GLOBAL ID：201202200146027144
整理番号：12A0587157
CMOSと両立できるMEMSのためのAl/AlN/Siスタック構造の圧電特性の評価
Evaluation of Piezoelectric Properties of Al/AlN/Si Stack Structure for CMOS compatible MEMS
UJIMOTO Katsuya
(Osaka Pref. Univ.)
,
UJIMOTO Katsuya
(imec)
,
VLADIMIR Cherman
(imec)
,
DE WOLF Ingrid
(imec)
,
DE WOLF Ingrid
(KU Leuven)
,
DU BOIS Bert
(imec)
,
SEVERI Simone
(imec)
,
JAMBUNATHAN Madhu
(imec)
,
KARABACAK Devrez
(imec)
,
YOSHIMURA Takeshi
(Osaka Pref. Univ.)
,
FUJIMURA Norifumi
(Osaka Pref. Univ.)
資料名：
応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 59th ページ： ROMBUNNO.17A-F5-4 発行年： 2012年02月29日
JST資料番号： Y0054B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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