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文献
J-GLOBAL ID：201202200269255559
整理番号：12A1215562
MOPA配置の超短パルスレーザシステムを用いたガルボスキャナーの同期による超高精密の表面構造化
Ultra high precision surface structuring by synchronizing a galvo scanner with an ultra short pulsed laser system in MOPA arrangement
JAEGGI B.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
,
NEUENSCHWANDER B.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
,
HUNZIKER U.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
,
ZUERCHER J.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
,
MEIER T.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
,
ZIMMERMANN M.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
,
SELBMANN K. H.
(Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE)
,
HENNIG G.
(Daetwyler Graphics, Bleienbach, CHE)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 8243 ページ： 82430K.1-82430K.11 発行年： 2012年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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