文献
J-GLOBAL ID:201202200673172209
整理番号:12A1457863
透明材料の層厚の光学的測定
Optical measurement of the layer thickness of transparent materials
著者 (2件):
DIERKE H.
(Technische Univ. Braunschweig, Braunschweig, DEU)
,
TUTSCH R.
(Technische Univ. Braunschweig, Braunschweig, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8430
ページ:
843008.1-843008.6
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)