前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201202200835520079
整理番号：12A0549337
プラズマ暴露した多孔質有機シリケートガラスの時間依存絶縁破壊
Time-dependent dielectric breakdown of plasma-exposed porous organosilicate glass
NICHOLS M. T.
(Plasma Processing & Technol. Lab. and Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Wisconsin-Madison ...)
,
SINHA H.
(Plasma Processing & Technol. Lab. and Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Wisconsin-Madison ...)
,
WILTBANK C. A.
(Plasma Processing & Technol. Lab. and Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Wisconsin-Madison ...)
,
ANTONELLI G. A.
(Novellus Systems, Tualatin, Oregon 97062, USA)
,
NISHI Y.
(Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
SHOHET J. L.
(Plasma Processing & Technol. Lab. and Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Wisconsin-Madison ...)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 100 号： 11 ページ： 112905-112905-4 発行年： 2012年03月12日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。