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文献
J-GLOBAL ID：201202201516177643
整理番号：12A0672185
Low-k/Cu配線層にシリンダキャパシタを内包したロジックIP準拠・混載DRAMデバイス
Basic Performance of a Logic-IP Compatible eDRAM with Cylinder Capacitors in Low-k/Cu BEOL Layers
久米一平
(ルネサスエレクトロニクス)
,
井上尚也
(ルネサスエレクトロニクス)
,
肱岡健一郎
(ルネサスエレクトロニクス)
,
川原潤
(ルネサスエレクトロニクス)
,
武田晃一
(ルネサスエレクトロニクス)
,
古武直也
(ルネサスエレクトロニクス)
,
白井浩樹
(ルネサスエレクトロニクス)
,
風間賢也
(ルネサスエレクトロニクス)
,
桑原愼一
(ルネサスエレクトロニクス)
,
渡曾雅敏
(ルネサスエレクトロニクス)
,
佐甲隆
(ルネサスエレクトロニクス)
,
高橋寿史
(ルネサスエレクトロニクス)
,
小倉卓
(ルネサスエレクトロニクス)
,
泰地稔二
(ルネサスエレクトロニクス)
,
笠間佳子
(ルネサスエレクトロニクス)
,
坂本美里
(ルネサスエレクトロニクス)
,
羽根正巳
(ルネサスエレクトロニクス)
,
林喜宏
(ルネサスエレクトロニクス)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 111 号： 463(SDM2011 176-184) ページ： 7-11 発行年： 2012年02月27日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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