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文献
J-GLOBAL ID：201202201734458468
整理番号：12A1202297
HP,HIPとキャニング-HIPプロセスによるスパッタリングクロムターゲットの微細構造,電気抵抗および機械的性質に関する研究
Study on the microstructures, electrical resistance and mechanical properties of sputtering chromium target by HP, HIP and canning-HIP processes
CHANG Shih-hsien
,
LU Chung-wei
,
CHEN Jhewn-kuang
資料名：
International Journal of Refractory Metals & Hard Materials
(International Journal of Refractory Metals & Hard Materials)
巻： 35 ページ： 70-75 発行年： 2012年11月
JST資料番号： H0059B ISSN： 0263-4368 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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