文献
J-GLOBAL ID:201202202266012453
整理番号:12A1712005
透明導電性酸化物のための反応性マグネトロンスパッタリング過程での負酸素イオン形成
Negative oxygen ion formation in reactive magnetron sputtering processes for transparent conductive oxides
著者 (2件):
WELZEL Thomas
(Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie, Inst. Solare Brennstoffe, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...)
,
ELLMER Klaus
(Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie, Inst. Solare Brennstoffe, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
30
号:
6
ページ:
061306-061306-12
発行年:
2012年11月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)