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文献
J-GLOBAL ID：201202204014034660
整理番号：12A0339982
リソグラフィー的解像度の化学テンプレート上におけるPOSS含有ブロック共重合体の溶媒蒸気で形状制御された配向自己集合
Directed Self-Assembly of POSS Containing Block Copolymer on Lithographically Defined Chemical Template with Morphology Control by Solvent Vapor
TADA Yasuhiko
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
TADA Yasuhiko
(Hitachi Ltd., Ibaraki, JPN)
,
YOSHIDA Hiroshi
(Hitachi Ltd., Ibaraki, JPN)
,
ISHIDA Yoshihit
(Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
,
HIRAI Tomoyasu
(Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
,
BOSWORTH Joan K.
(Hitachi Global Storage Technol., California, USA)
,
DOBISZ Elizabeth
(Hitachi Global Storage Technol., California, USA)
,
RUIZ Ricardo
(Hitachi Global Storage Technol., California, USA)
,
TAKENAKA Mikihito
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
HAYAKAWA Teruaki
(Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
,
HASEGAWA Hirokazu
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名：
Macromolecules
(Macromolecules)
巻： 45 号： 1 ページ： 292-304 発行年： 2012年01月10日
JST資料番号： B0952A ISSN： 0024-9297 CODEN： MAMOBX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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