文献
J-GLOBAL ID:201202204520341007
整理番号:12A0731969
多孔性超低κ(誘電率)薄膜の誘電率
Dielectric Constant of Porous Ultra Low-κ Thin Films
著者 (5件):
JOUSSEAUME V.
(CEA, Grenoble, FRA)
,
GOURHANT O.
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
,
GONON P.
(CEA, Grenoble, FRA)
,
ZENASNI A.
(CEA, Grenoble, FRA)
,
FAVENNEC L.
(STMicroelectronics, Crolles, FRA)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
159
号:
5
ページ:
G49-G55
発行年:
2012年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)