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文献
J-GLOBAL ID：201202204621306946
整理番号：12A0924292
γ-Al2O3/Si基板上のエピタキシャルPZT薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの作製と送受信特性
Fabrication and transmit-receive characteristics of ultrasonic transducers array using epitaxial PZT thin films on γ-Al2O3/Si substrates
尾崎勝弥
(豊橋技科大 電気・電子情報工学系)
,
西村将人
(豊橋技科大 電気・電子情報工学系)
,
鈴木啓佑
(豊橋技科大 電気・電子情報工学系)
,
沼田泰幸
(豊橋技科大 電気・電子情報工学系)
,
岡田長也
(本多電子)
,
赤井大輔
(豊橋技科大 電気・電子情報工学系)
,
赤井大輔
(豊橋技科大 エレクトロニクス先端融合研)
,
石田誠
(豊橋技科大 電気・電子情報工学系)
,
石田誠
(豊橋技科大 エレクトロニクス先端融合研)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 112 号： 34(SDM2012 19-42) ページ： 29-33 発行年： 2012年05月10日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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