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文献
J-GLOBAL ID：201202205455604387
整理番号：12A0437199
薄いSiGeエピ層の熱信頼性
Thermal reliability of thin SiGe epilayers
WU Ming-jhang
(Dep. of Mechanical Engineering, National Chiao Tung Univ., Hsinchu 300, Taiwan, TWN)
,
WEN Hua-chiang
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Tsing Hua Univ., Hsinchu, 30013, Taiwan, TWN)
,
CHIANG Tun-yuan
(Dep. of Mechanical Engineering, Chin-Yi Univ. of Technol., Taichung 411, Taiwan, TWN)
,
TSAI Chien-huang
(Dep. of Automation Engineering, Nan Kai Univ. of Technol., Nantou 54243, Taiwan, TWN)
,
HSU Wen-kuang
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Tsing Hua Univ., Hsinchu, 30013, Taiwan, TWN)
,
CHOU Chang-pin
(Dep. of Mechanical Engineering, National Chiao Tung Univ., Hsinchu 300, Taiwan, TWN)
資料名：
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻： 258 号： 12 ページ： 5001-5004 発行年： 2012年04月01日
JST資料番号： B0707B ISSN： 0169-4332 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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