文献
J-GLOBAL ID:201202205526349839
整理番号:12A0562934
電子ビーム蒸着により堆積させたスカンジウム膜の微細構造に及ぼす処理パラメータの影響
Influence of process parameters on the microstructure of scandium films deposited by electron-beam evaporation
著者 (6件):
WU Qingying
(Inst. of Nuclear Physics and Chemistry, China Acad. of Engineering Physics, Mian Yang 621900, CHN)
,
BING Wenzeng
(Inst. of Nuclear Physics and Chemistry, China Acad. of Engineering Physics, Mian Yang 621900, CHN)
,
LONG Xinggui
(Inst. of Nuclear Physics and Chemistry, China Acad. of Engineering Physics, Mian Yang 621900, CHN)
,
ZHOU Xiaosong
(Inst. of Nuclear Physics and Chemistry, China Acad. of Engineering Physics, Mian Yang 621900, CHN)
,
LIU Jinhua
(Inst. of Nuclear Physics and Chemistry, China Acad. of Engineering Physics, Mian Yang 621900, CHN)
,
LUO Shunzhong
(Inst. of Nuclear Physics and Chemistry, China Acad. of Engineering Physics, Mian Yang 621900, CHN)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
86
号:
9
ページ:
1347-1352
発行年:
2012年03月14日
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)