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文献
J-GLOBAL ID：201202205613181839
整理番号：12A0507100
溶液処理した有機ケイ素化合物から転換したSiCxOy薄膜のチューナブル表面硬さと誘電定数
Tunable surface hardness and dielectric constant of SiCxOy thin film converted from solution-processed organosilicon compound
LEE Pyoung-Chan
(Korea Automotive Technol. Inst., Materials and Components R&D Div., 330-912, Pungse-Myun, Chonan-Si, KOR)
,
LEE Pyoung-Chan
(SAINT, Sungkyunkwan Univ., Dep. of Polymer Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
KIM Sieun
(SAINT, Sungkyunkwan Univ., Dep. of Polymer Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
HWANG Taeseon
(SAINT, Sungkyunkwan Univ., Dep. of Polymer Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
OH Joon-Suk
(SAINT, Sungkyunkwan Univ., Dep. of Polymer Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
OH Yong-Soo
(Central R&D Inst., Samsung Electro-Mechanics Co. Ltd, Maetan-dong, Yeongtong-gu, 443-743, Suwon, KOR)
,
PU Lyongsun
(SAINT, Sungkyunkwan Univ., Dep. of Polymer Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
KIM Byung-Woo
(Sungkyunkwan Univ., Dep. of Chemical Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
LEE Youngkwan
(Sungkyunkwan Univ., Dep. of Chemical Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
CHOI Hyouk Ryeol
(Sungkyunkwan Univ., Dep. of Mechanical Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
,
JEOUNG Sun Kyoung
(Korea Automotive Technol. Inst., Materials and Components R&D Div., 330-912, Pungse-Myun, Chonan-Si, KOR)
,
NAM Jae-Do
(SAINT, Sungkyunkwan Univ., Dep. of Polymer Sci. and Engineering, 440-746, Suwon, KOR)
資料名：
Journal of Materials Science
(Journal of Materials Science)
巻： 47 号： 11 ページ： 4540-4545 発行年： 2012年06月
JST資料番号： B0722A ISSN： 0022-2461 CODEN： JMTSAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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