文献
J-GLOBAL ID:201202205628476614
整理番号:12A0302425
起伏する表面,粒子および大きなナノ粒子のトポグラフィー効果および単原子イオンスパッタリング:スパッタリング収率,実効スパッタ速度およびトポグラフィー進展
Topography effects and monatomic ion sputtering of undulating surfaces, particles and large nanoparticles: Sputtering yields, effective sputter rates and topography evolution
著者 (1件):
SEAH M. P.
(National Physical Lab., Middlesex, GBR)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
44
号:
2
ページ:
208-218
発行年:
2012年02月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)