文献
J-GLOBAL ID:201202205733005058
整理番号:12A0549682
表面マイクロマシンの繰り返し衝撃負荷による側壁接着の進展
Evolution of sidewall adhesion in surface micromachines due to repetitive impact loading
著者 (2件):
XIANG H.
(Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of California, Berkeley, California 94720, USA)
,
KOMVOPOULOS K.
(Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of California, Berkeley, California 94720, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
111
号:
5
ページ:
054507-054507-7
発行年:
2012年03月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)