文献
J-GLOBAL ID:201202206559481054
整理番号:12A0723660
メサ構造作製によるナノメートルオーダーの厚さを持つ超薄層に対する二次イオン質量分析法における深さプロファイリング
Depth profiling in secondary ion mass spectrometry for ultra-thin layer with nanometer order thickness by mesa-structure fabrication
著者 (4件):
SEKI S.
(Takushoku Univ., Tokyo, JPN)
,
TAMURA H.
(Takushoku Univ., Tokyo, JPN)
,
WADA Y.
(Graduate School of Interdisciplinary New Sci., Toyo Univ.)
,
TSUTSUI K.
(Graduate School of Interdisciplinary New Sci., Toyo Univ.)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
44
号:
5
ページ:
614-617
発行年:
2012年05月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)