文献
J-GLOBAL ID:201202207350370987
整理番号:12A1429705
DBMシステムの高度プロセスのための重合せ検証およびウィグラ定量化への応用
Application of DBM system to overlay verification and wiggling quantification for advanced process.
著者 (9件):
LEE Taehyeong
(Hynix Semiconductor Inc., KOR)
,
KIM Jungchan
(Hynix Semiconductor Inc., KOR)
,
YOO Gyun
(Hynix Semiconductor Inc., KOR)
,
PARK Chanha
(Hynix Semiconductor Inc., KOR)
,
YANG Hyunjo
(Hynix Semiconductor Inc., KOR)
,
YIM Donggyu
(Hynix Semiconductor Inc., KOR)
,
PARK Byoungjun
(Nano Geometry Res., Inc., JPN)
,
MARUYAMA Kotaro
(Nano Geometry Res., Inc., JPN)
,
YAMAMOTO Masahiro
(Nano Geometry Res., Inc., JPN)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8324
号:
Pt.1
ページ:
83241B.1-83241B.9
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)