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J-GLOBAL ID：201202207392749560 整理番号：12A0312246

アノード酸化による集束イオンビームパターン化の新しい可能性

Newfound capability of focused ion beam patterning guided anodization

著者 (1件)：

LU Kathy

(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Virginia Tech, Blacksburg, VA 24061, USA)

資料名：

Electrochimica Acta (Electrochimica Acta)

巻： 63 ページ： 256-262 発行年： 2012年02月29日
JST資料番号： B0535B ISSN： 0013-4686 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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