文献
J-GLOBAL ID:201202207451951646
整理番号:12A0779950
非線形MEMS内のノイズに基づいた共振センシングのための新手法
A NEW METHOD FOR RESONANT SENSING BASED ON NOISE IN NONLINEAR MEMS
著者 (3件):
BURGNER C. B.
(Univ. California, Santa Barbara, USA)
,
SHAW L. A.
(Univ. California, Santa Barbara, USA)
,
TURNER K. L.
(Univ. California, Santa Barbara, USA)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
25th Vol.1
ページ:
511-514
発行年:
2012年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)