文献
J-GLOBAL ID:201202207932701937
整理番号:12A1449349
修正チャープzアルゴリズムにより計算された周期性および準周期性最密2Dマスク構造のTalbot-カーペット
Talbot-carpets of periodic and quasi-periodic close-packed 2D mask structures calculated by modified chirp-z-algorithm
著者 (5件):
MAASS Jacqueline S.
(Carl Zeiss Jena GmbH, Jena, DEU)
,
SANDFUCHS Oliver
(Univ. Applied Sci. Hamm-Lippstadt, Hamm, DEU)
,
GATTO Alexandre
(Carl Zeiss Jena GmbH, Jena, DEU)
,
THOMAE Daniel
(Univ. Applied Sci. Jena, Jena, DEU)
,
BRUNNER Robert
(Univ. Applied Sci. Jena, Jena, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8428
ページ:
84281L.1-84281L.9
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)