文献
J-GLOBAL ID:201202208030022448
整理番号:12A1216960
半導体素子のroll-to-roll製造
Roll-to-Roll Manufacturing of Electronic Devices
著者 (8件):
MORRISON N.A.
(Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
,
STOLLEY T.
(Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
,
HERMANNS U.
(Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
,
KROEMER U.
(Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
,
REUS A.
(Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
,
LOPP A.
(Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
,
CAMPO M.
(Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
,
LANDGRAF H.
(Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8323
ページ:
83231H.1-83231H.16
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)