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文献
J-GLOBAL ID：201202208354638654
整理番号：12A1766385
水溶性フラレノールを用いたCu-CMP研磨スラリーの新世代
A New Generation of Cu-CMP Slurry using Water-Soluble Fullerenol
KOKUBO Ken
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
HAYASHI Terutake
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TANADA Hiroki
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
ACHIKA Hideyuki
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KISHIDA Hirotaka
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KANO Kazumasa
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MURAI Ryota
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MICHIHATA Masaki
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
OSHIMA Takumi
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TAKAYA Yasuhiro
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム講演要旨集
(Abstracts. Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium)
巻： 43rd ページ： 18 発行年： 2012年09月05日
JST資料番号： L1472A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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