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文献
J-GLOBAL ID:201202209321378866   整理番号:12A1547913

超低電圧シリコンオン薄ボックス(SOTB)CMOS動作に専用のポリ/高k/SiONゲートスタックと新しいプロフィル工学

Poly/High-k/SiON Gate Stack and Novel Profile Engineering Dedicated for Ultralow-Voltage Silicon-on-Thin-BOX (SOTB) CMOS Operation
著者 (17件):
YAMAMOTO Y.
(Low-power Electronics Association & Project (LEAP))
YAMALOTO Y.
(Renesas Electronics Corp.)
MAKIYAMA H.
(Low-power Electronics Association & Project (LEAP))
MAKIYAMA H.
(Renesas Electronics Corp.)
TSUNOMURA T.
(Low-power Electronics Association & Project (LEAP))
TSUNOMURA T.
(Renesas Electronics Corp.)
IWAMATSU T.
(Low-power Electronics Association & Project (LEAP))
IWAMATSU T.
(Renesas Electronics Corp.)
ODA H.
(Low-power Electronics Association & Project (LEAP))
ODA H.
(Renesas Electronics Corp.)
SUGII N.
(Low-power Electronics Association & Project (LEAP))
SUGII N.
(Renesas Electronics Corp.)
YAMAGUCHI Y.
(Low-power Electronics Association & Project (LEAP))
YAMAGUCHI Y.
(Renesas Electronics Corp.)
MIZUTANI T.
(Univ. Tokyo, Ibaraki, JPN)
HIRAMOTO T.
(Low-power Electronics Association & Project (LEAP))
HIRAMOTO T.
(Univ. Tokyo, Ibaraki, JPN)

資料名:
Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology  (Digest of Technical Papers. Symposium on VLSI Technology)

巻: 2012  ページ: 109-110  発行年: 2012年 
JST資料番号: A0035B  ISSN: 0743-1562  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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