文献
J-GLOBAL ID:201202210263034742
整理番号:12A1145191
半導体製造生態系にわたる協調ソリューションの実現
Enabling Collaborative Solutions across the Semiconductor Manufacturing Ecosystem
著者 (3件):
YANG Jiting
(Portland State Univ., Portland, USA)
,
WEBER Charles
(Portland State Univ., Portland, USA)
,
GABELLA Patricia
(Gabella Group, Austin, USA)
資料名:
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
(IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop)
巻:
23rd
ページ:
208-213
発行年:
2012年
JST資料番号:
W0718A
ISSN:
1078-8743
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)