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文献
J-GLOBAL ID：201202210446942591
整理番号：12A0703867
ビス(エチルシクロペンタジエニル)マンガンを使用した多孔質SiCOH低k誘電体上へのマンガンの化学蒸着の研究
Study of Chemical Vapor Deposition of Manganese on Porous SiCOH Low-k Dielectrics Using Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese
JOURDAN Nicolas
(IMEC, Leuven, BEL)
,
KRISHTAB Mikhail B.
(Saint Petersburg Electrotechnical Univ. “LETI”, Saint Petersburg, RUS)
,
BAKLANOV Mikhail R.
(IMEC, Leuven, BEL)
,
MEERSSCHAUT Johan
(IMEC, Leuven, BEL)
,
WILSON Christopher J.
(IMEC, Leuven, BEL)
,
ABLETT James M.
(Synchrotron Soleil, Gif-sur Yvette, FRA)
,
FONDA Emiliano
(Synchrotron Soleil, Gif-sur Yvette, FRA)
,
ZHAO Larry
(IMEC, Leuven, BEL)
,
VAN LSHOCHT Sven
(IMEC, Leuven, BEL)
,
TOEKEI Zsolt
(IMEC, Leuven, BEL)
,
VANCOILLE Eric
(IMEC, Leuven, BEL)
資料名：
Electrochemical and Solid-State Letters
(Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 15 号： 5 ページ： H176-H178 発行年： 2012年
JST資料番号： W1290A ISSN： 1099-0062 CODEN： ESLEF6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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