文献
J-GLOBAL ID:201202210446942591
整理番号:12A0703867
ビス(エチルシクロペンタジエニル)マンガンを使用した多孔質SiCOH低k誘電体上へのマンガンの化学蒸着の研究
Study of Chemical Vapor Deposition of Manganese on Porous SiCOH Low-k Dielectrics Using Bis(ethylcyclopentadienyl)manganese
著者 (11件):
JOURDAN Nicolas
(IMEC, Leuven, BEL)
,
KRISHTAB Mikhail B.
(Saint Petersburg Electrotechnical Univ. “LETI”, Saint Petersburg, RUS)
,
BAKLANOV Mikhail R.
(IMEC, Leuven, BEL)
,
MEERSSCHAUT Johan
(IMEC, Leuven, BEL)
,
WILSON Christopher J.
(IMEC, Leuven, BEL)
,
ABLETT James M.
(Synchrotron Soleil, Gif-sur Yvette, FRA)
,
FONDA Emiliano
(Synchrotron Soleil, Gif-sur Yvette, FRA)
,
ZHAO Larry
(IMEC, Leuven, BEL)
,
VAN LSHOCHT Sven
(IMEC, Leuven, BEL)
,
TOEKEI Zsolt
(IMEC, Leuven, BEL)
,
VANCOILLE Eric
(IMEC, Leuven, BEL)
資料名:
Electrochemical and Solid-State Letters
(Electrochemical and Solid-State Letters)
巻:
15
号:
5
ページ:
H176-H178
発行年:
2012年
JST資料番号:
W1290A
ISSN:
1099-0062
CODEN:
ESLEF6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)