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文献
J-GLOBAL ID：201202211200383778
整理番号：12A1421083
還元剤としてジエチル亜鉛を用いた銅の原子層析出の機構 気相分子をモデルとして用いた密度汎関数理論研究
Mechanism for the Atomic Layer Deposition of Copper Using Diethylzinc as the Reducing Agent: A Density Functional Theory Study Using Gas-Phase Molecules as a Model
DEY Gangotri
(Univ. Coll. Cork, Cork, IRL)
,
ELLIOTT Simon D.
(Univ. Coll. Cork, Cork, IRL)
資料名：
Journal of Physical Chemistry A
(Journal of Physical Chemistry A)
巻： 116 号： 35 ページ： 8893-8901 発行年： 2012年09月06日
JST資料番号： C0334B ISSN： 1089-5639 CODEN： JPCAFH 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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