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文献
J-GLOBAL ID：201202211278396566
整理番号：12A0806346
高いロバスト性を有する新規なマイクロ加工した音又型ジャイロスコープの構造設計
Structure design of a novel micromachinined tuning fork gyroscope with high robustness
CHEN W. P.
(Harbin inst. Technol., Heilongjiang, CHN)
,
YANG Y. B.
(Harbin inst. Technol., Heilongjiang, CHN)
,
YANG Y. B.
(Key Lab. Micro-Systems and Micro-Structures Manufacturing, Ministry of Education, CHN)
,
YU Y.
(Key Lab. Micro-Systems and Micro-Structures Manufacturing, Ministry of Education, CHN)
資料名：
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻： 503 ページ： 108-113 発行年： 2012年
JST資料番号： D0744C ISSN： 1013-9826 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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