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文献
J-GLOBAL ID：201202211282759150
整理番号：12A0215220
極端紫外Mo/Si多層被膜に対するフェムト秒レーザ照射の損傷効果の解析
Analysis of the damage effect of femtosecond-laser irradiation on extreme ultraviolet Mo/Si multilayer coating
SUMAN M.
,
MONACO G.
,
ZUPPELLA P.
,
NICOLOSI P.
,
PELIZZO M.g.
,
FERRARI F.
,
LUCCHINI M.
,
NISOLI M.
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 520 号： 6 ページ： 2301-2306 発行年： 2012年01月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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