文献
J-GLOBAL ID:201202211998677430
整理番号:12A1154426
Siナノワイアベースのキャパシタの4次元スペクトル低損失エネルギーフィルタ透過電子トモグラフィ
Four-dimensional spectral low-loss energy-filtered transmission electron tomography of silicon nanowire-based capacitors
著者 (8件):
HABERFEHLNER G.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA)
,
BAYLE-GUILLEMAUD P.
(CEA, INAC-UJF UMR-E Grenoble 1, SP2M, LEMMA, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA)
,
AUDOIT G.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA)
,
LAFOND D.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA)
,
MOREL P. H.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA)
,
JOUSSEAUME V.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA)
,
ERNST T.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA)
,
BLEUET P.
(CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
101
号:
6
ページ:
063108-063108-4
発行年:
2012年08月06日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)