文献
J-GLOBAL ID:201202212261863230
整理番号:12A0612234
低応力の勾配屈折率SixOyFz厚膜の蒸着と特性化
Deposition and characterization of thick graded index Si x O y F z films with low stress
著者 (4件):
MICHAEL Aron
(School of EE&T, The Univ. of New South Wales, Sydney, NSW 2052, AUS)
,
HAFIZ Abdullah Al
(School of EE&T, The Univ. of New South Wales, Sydney, NSW 2052, AUS)
,
PUZZER Tom
(School of EE&T, The Univ. of New South Wales, Sydney, NSW 2052, AUS)
,
KWOK Chee Yee
(School of EE&T, The Univ. of New South Wales, Sydney, NSW 2052, AUS)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
178
ページ:
110-117
発行年:
2012年05月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)