文献
J-GLOBAL ID:201202213016947319
整理番号:12A1719324
先端Ge pMOSFETの挑戦と機会
Challenges and opportunities in advanced Ge pMOSFETs
著者 (12件):
SIMOEN E.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
MITARD J.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
HELLINGS G.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
ENEMAN G.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
DE JAEGER B.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
WITTERS L.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
VINCENT B.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
LOO R.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
DELABIE A.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
SIONCKE S.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
CAYMAX M.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
CLAEYS C.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
資料名:
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻:
15
号:
6
ページ:
588-600
発行年:
2012年12月
JST資料番号:
W1055A
ISSN:
1369-8001
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)