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文献
J-GLOBAL ID：201202213016947319
整理番号：12A1719324
先端Ge pMOSFETの挑戦と機会
Challenges and opportunities in advanced Ge pMOSFETs
SIMOEN E.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
MITARD J.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
HELLINGS G.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
ENEMAN G.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
DE JAEGER B.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
WITTERS L.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
VINCENT B.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
LOO R.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
DELABIE A.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
SIONCKE S.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
CAYMAX M.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
,
CLAEYS C.
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
資料名：
Materials Science in Semiconductor Processing
(Materials Science in Semiconductor Processing)
巻： 15 号： 6 ページ： 588-600 発行年： 2012年12月
JST資料番号： W1055A ISSN： 1369-8001 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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