文献
J-GLOBAL ID:201202213522735230
整理番号:12A1711936
イオン衝撃のエネルギーを増大させることによる(100)Ge上でのスポンジからドットアレイへ
From sponge to dot arrays on (100) Ge by increasing the energy of ion impacts
著者 (5件):
BOETTGER Roman
(Inst. of Ion Beam Physics and Materials Res., Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, P.O. Box 510119, 01328 Dresden, DEU)
,
BISCHOFF Lothar
(Inst. of Ion Beam Physics and Materials Res., Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, P.O. Box 510119, 01328 Dresden, DEU)
,
HEINIG Karl-heinz
(Inst. of Ion Beam Physics and Materials Res., Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, P.O. Box 510119, 01328 Dresden, DEU)
,
PILZ Wolfgang
(Inst. of Ion Beam Physics and Materials Res., Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, P.O. Box 510119, 01328 Dresden, DEU)
,
SCHMIDT Bernd
(Inst. of Ion Beam Physics and Materials Res., Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf, P.O. Box 510119, 01328 Dresden, DEU)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻:
30
号:
6
ページ:
06FF12-06FF12-5
発行年:
2012年11月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
2166-2746
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)