文献
J-GLOBAL ID:201202213574373620
整理番号:12A0779889
バルクモリブデンの誘導結合プラズマエッチング
INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ETCHING OF BULK MOLYBDENUM
著者 (6件):
HU J.
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
ZHANG Y.
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
CHEN S.
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
HE S.
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
LI N.
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
CHEN J.
(Peking Univ., Beijing, CHN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
25th Vol.1
ページ:
267-270
発行年:
2012年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)