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文献
J-GLOBAL ID：201202213924581973
整理番号：12A1146360
酸化チタンフィルムの蒸着のためのアルゴン酸素混合物におけるマグネトロン放電
Magnetron discharge in an argon-oxygen mixture for deposition of a titanium oxide film
KOMLEV A. E.
(St. Petersburg State Electrotechnical Univ. (LETI), ul. Prof. Popova 5, 197238, St. Petersburg, RUS)
,
SHAPOVALOV V. I.
(St. Petersburg State Electrotechnical Univ. (LETI), ul. Prof. Popova 5, 197238, St. Petersburg, RUS)
,
SHUTOVA N. S.
(St. Petersburg State Electrotechnical Univ. (LETI), ul. Prof. Popova 5, 197238, St. Petersburg, RUS)
資料名：
Technical Physics
(Technical Physics)
巻： 57 号： 7 ページ： 1030-1033 発行年： 2012年07月
JST資料番号： E0952A ISSN： 1063-7842 CODEN： TEPHEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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