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文献
J-GLOBAL ID：201202214260010422
整理番号：12A0764286
Si(100)2×1表面の超高温酸化:成長温度の影響
Hyperthermal Oxidation of Si(100)2×1 Surfaces: Effect of Growth Temperature
KHALILOV U.
(Univ. Antwerp, Wilrijk-Antwerp, BEL)
,
POURTOIS G.
(Univ. Antwerp, Wilrijk-Antwerp, BEL)
,
POURTOIS G.
(IMEC, Leuven, BEL)
,
VAN DUIN A. C. T.
(Penn State Univ., Pennsylvania, USA)
,
NEYTS E. C.
(Univ. Antwerp, Wilrijk-Antwerp, BEL)
資料名：
Journal of Physical Chemistry C
(Journal of Physical Chemistry C)
巻： 116 号： 15 ページ： 8649-8656 発行年： 2012年04月19日
JST資料番号： W1877A ISSN： 1932-7447 CODEN： JPCCCK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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