文献
J-GLOBAL ID:201202214443139076
整理番号:12A1446028
リソからエッチへのラフネス転写のCD-SEMによる評価
Evaluation of roughness transfer from Litho to Etch using CD-SEM
著者 (4件):
TANAKA M.
(Hitachi High-Technol., Ibaraki-ken, JPN)
,
ISHIMOTO T.
(Hitachi High-Technol., Ibaraki-ken, JPN)
,
KAZUMI H.
(Hitachi High-Technol., Ibaraki-ken, JPN)
,
CHENG S.
(imec vzw, Leuven, BEL)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8324
号:
Pt.2
ページ:
83242H.1-83242H.7
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)