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文献
J-GLOBAL ID:201202214517543745   整理番号:12A0911602

部分的に架橋した固体ポリカルボシランのインプリントにより精密化したSiCパターンを作製

Preparation of Refined SiC Patterns from Imprinting of Partially Cross-Linked Solid Polycarbosilane
著者 (6件):
ZHANG Kuibao
(Wuhan Univ. Technol., Wuhan, CHN)
ZHANG Kuibao
(Southwest Univ. Sci. and Technol., Mianyang, CHN)
FU Zhengyi
(Wuhan Univ. Technol., Wuhan, CHN)
NAKAYAMA Tadachika
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
OKUMURA Masatoshi
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
NIIHARA Koichi
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)

資料名:
Journal of the American Ceramic Society  (Journal of the American Ceramic Society)

巻: 95  号:ページ: 1530-1535  発行年: 2012年05月 
JST資料番号: C0253A  ISSN: 0002-7820  CODEN: JACTAW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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