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J-GLOBAL ID：201202215397205111 整理番号：12A1758066

大ストローク連続膜デフォーマブルミラー製作のための大規模膜転写プロセス

Large scale membrane transfer process for the fabrication of a large stroke continuous membrane deformable mirror

著者 (4件)：

WU Tong

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

SASAKI Takashi

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

AKIYAMA Masayuki

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

HANE Kazuhiro

(Tohoku Univ., Sendai, JPN)

資料名：

センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM) (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))

巻： 29th ページ： ROMBUNNO.IM1-1 発行年： 2012年10月22日
JST資料番号： X0768B 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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