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文献
J-GLOBAL ID：201202216185954161
整理番号：12A1507602
大面積のシリコンウエハ基板上におけるダイヤモンド成長のための回転シーディング法
Spin-seeding approach for diamond growth on large area silicon-wafer substrates
TSIGKOURAKOS Menelaos
(Imec, Leuven, BEL)
,
TSIGKOURAKOS Menelaos
(KU Leuven, Leuven, BEL)
,
HANTSCHEL Thomas
(Imec, Leuven, BEL)
,
JANSSENS Stoffel D.
(Imec, Diepenbeek, BEL)
,
JANSSENS Stoffel D.
(Hasselt Univ., Diepenbeek, BEL)
,
HAENEN Ken
(Imec, Diepenbeek, BEL)
,
HAENEN Ken
(Hasselt Univ., Diepenbeek, BEL)
,
VANDERVORST Wilfried
(Imec, Leuven, BEL)
,
VANDERVORST Wilfried
(KU Leuven, Leuven, BEL)
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 209 号： 9 ページ： 1659-1663 発行年： 2012年09月
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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