文献
J-GLOBAL ID:201202216662013579
整理番号:12A0562944
マグネトロンスパッタリングした非晶質Cr-C膜の堆積と特性評価
Deposition and characterization of magnetron sputtered amorphous Cr-C films
著者 (6件):
ANDERSSON Matilda
(Dep. of Chemistry - Ångstroem, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., Box 538, SE-751 21 Uppsala, SWE)
,
HOEGSTROEM Jonas
(Dep. of Chemistry - Ångstroem, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., Box 538, SE-751 21 Uppsala, SWE)
,
URBONAITE Sigita
(Dep. of Chemistry - Ångstroem, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., Box 538, SE-751 21 Uppsala, SWE)
,
FURLAN Andrej
(Dep. of Chemistry - Ångstroem, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., Box 538, SE-751 21 Uppsala, SWE)
,
NYHOLM Leif
(Dep. of Chemistry - Ångstroem, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., Box 538, SE-751 21 Uppsala, SWE)
,
JANSSON Ulf
(Dep. of Chemistry - Ångstroem, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., Box 538, SE-751 21 Uppsala, SWE)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
86
号:
9
ページ:
1408-1416
発行年:
2012年03月14日
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)