文献
J-GLOBAL ID:201202217087507242
整理番号:12A0731972
分光法で検出した欠陥状態と高κ(誘電率)キャパシタ構造漏れ電流を熱刺激電流法で関連づける困難さを招く機構
Mechanisms of Difficulty to Correlate the Leakage Current of High-k Capacitor Structures with Defect States Detected Spectroscopically by the Thermally Stimulated Current Technique
著者 (1件):
LAU W.S.
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
159
号:
5
ページ:
G67-G73
発行年:
2012年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)