文献
J-GLOBAL ID:201202217207296984
整理番号:12A0430782
フルオロカーボンプラズマに共通に見られる中性種の赤外吸収断面積の温度依存性
Temperature dependence of the infrared absorption cross-sections of neutral species commonly found in fluorocarbon plasmas
著者 (3件):
NELSON Caleb T.
(Dep. of Electrical Engineering, Univ. of Texas at Dallas, P.O. Box 830688, Richardson, Texas 75083)
,
OVERZET Lawrence J.
(Dep. of Electrical Engineering, Univ. of Texas at Dallas, P.O. Box 830688, Richardson, Texas 75083)
,
GOECKNER Matthew J.
(Dep. of Electrical Engineering, Univ. of Texas at Dallas, P.O. Box 830688, Richardson, Texas 75083)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
30
号:
2
ページ:
021305
発行年:
2012年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)