文献
J-GLOBAL ID:201202217394504838
整理番号:12A1429671
オーバレイ精度の新しい分析アルゴリズム
New Analytical Algorithm for Overlay Accuracy
著者 (6件):
HAM Boo-Hyun
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
YUN Sangho
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
KWAK Min-Cheol
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
HA Soon Mok
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
KIM Cheol-Hong
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
,
NAM Suk-Woo
(Samsung Electronics Co., Ltd., Gyeonggi-Do, KOR)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
8324
号:
Pt.1
ページ:
83240A.1-83240A.9
発行年:
2012年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)